Вакуумная цементация - гэта нагрэў загатоўкі ў вакууме.Калі ён дасягае тэмпературы вышэй крытычнай кропкі, ён будзе заставацца на працягу пэўнага перыяду часу, дэгазаваць і выдаляць аксідную плёнку, а затым прапускаць вычышчаны газ для науглероживания і дыфузіі.Тэмпература науглероживания вакуумнага науглероживания высокая, да 1030 ℃, а хуткасць науглероживания высокая.Павярхоўная актыўнасць науглероженных дэталяў паляпшаецца шляхам дэгазацыі і раскіслення.Хуткасць далейшай дыфузіі занадта высокая.Науглероживание і дыфузія праводзяцца неаднаразова і па чарзе, пакуль не будуць дасягнуты неабходныя павярхоўная канцэнтрацыя і глыбіня.
Можна кантраляваць глыбіню вакуумнага науглероживания і канцэнтрацыю на паверхні;Ён можа змяніць металургічныя ўласцівасці павярхоўнага пласта металічных дэталяў, а яго эфектыўная глыбіня науглероживания больш, чым рэальная глыбіня науглероживания іншых метадаў.