Характарыстыкі:

1) Хуткасць азатавання вышэйшая, цыкл азатавання можна адпаведна скараціць, а час іённага азатавання можна скараціць да 1/3-2/3 часу газавага азатавання.

2) Далікатнасць азатаванага слоя невялікая, а белы слой, які ўтвараецца на паверхні ў выніку плазменнага азатавання, вельмі тонкі або нават адсутнічае. Акрамя таго, дэфармацыя, выкліканая азатаваным слоем, невялікая, што асабліва падыходзіць для дакладных дэталяў складанай формы.

3) Можна зэканоміць энергію і аміяк. Спажыванне электраэнергіі складае 1/2-1/5 ад спажывання газавага азатавання, а спажыванне аміяку — 1/5-1/20 ад спажывання газавага азатавання.

4) Лакальнае азотаванне лёгка рэалізаваць, пакуль частка, якая не патрабуе азотавання, не выпрацоўвае свячэння, частку, якая не патрабуе азотавання, лёгка абараніць, а свячэнне можна абараніць механічнай аховай і жалезнай пласцінай.

5) Іонная бамбардзіроўка можа ачысціць паверхню і аўтаматычна выдаліць пасівацыйную плёнку. Нержавеючую і цеплаўстойлівую сталь можна азотаваць непасрэдна без папярэдняга выдалення пасівацыйнай плёнкі.

6) Структура складанага пласта, таўшчыня і структура інфільтрацыйнага пласта могуць кантралявацца.

7) Дыяпазон тэмператур апрацоўкі шырокі, і пэўная таўшчыня азатавальнага слоя можа быць атрымана нават пры тэмпературы ніжэй за 350°C.

8) Палепшаны ўмовы працы. Апрацоўка плазменным азатаваннем праводзіцца пад вельмі нізкім ціскам з мінімальнай колькасцю выхлапных газаў, што дазваляе пазбегнуць забруджвання навакольнага асяроддзя. Крыніцай газу з'яўляюцца азот, вадарод і аміяк, і шкодных рэчываў практычна не выпрацоўваецца.

9) Яго можна ўжываць да ўсіх відаў матэрыялаў, у тым ліку да нержавеючай сталі, цеплаўстойлівай сталі з высокай тэмпературай азатавання, інструментальнай сталі і дакладных дэталяў з нізкай тэмпературай азатавання, у той час як нізкатэмпературнае азатаванне даволі складанае для газавага азатавання.